電感耦合等離子體質(zhì)譜（ICP-MS）將ICP的高溫等離子體電離特性與質(zhì)譜儀的靈敏度和快速掃描優(yōu)勢(shì)相結(jié)合，形成了一種具有獨(dú)特界面技術(shù)的新的元素分析技術(shù)。與電感耦合等離子體光譜法（ICP-AES）、原子吸收光譜法（AAS）和原子熒光光譜法（AFS）等無機(jī)元素分析技術(shù)相比，
ICP-MS具有檢測(cè)限低、動(dòng)態(tài)線性范圍寬、干擾小、精度高、速度快等特點(diǎn)，可提供同一同位素的準(zhǔn)確信息。它的性能大大提高了。ICP-MS還可以與其他技術(shù)相結(jié)合，如高效液相色譜（HPLC）、氣相色譜（GC）和激光燒蝕取樣系統(tǒng)（LA），以分析元素的形態(tài)和分布特征。
ICP-MS這項(xiàng)技術(shù)從最初應(yīng)用于地質(zhì)科學(xué)研究，迅速發(fā)展到在材料、化學(xué)工業(yè)、生物、醫(yī)藥、冶金、石油、環(huán)境等領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用。此外，
高效液相色譜儀在分析方面也有被廣泛應(yīng)用。
ICP-MS將大部分霧化原子轉(zhuǎn)化為離子，然后根據(jù)質(zhì)荷比進(jìn)行分離，最后計(jì)算出各種離子的數(shù)量。高溫等離子體電離大多數(shù)樣品中元素的電子，形成單價(jià)正離子；通過ICP-MS接口將等離子體中的離子有效轉(zhuǎn)移到質(zhì)譜儀。
最常用的樣品注入方法是使用同心或直角氣動(dòng)霧化器產(chǎn)生氣溶膠，并將其噴射到載氣輸送帶下方的火焰炬中。樣品注射體積約為1mL/min，由蠕動(dòng)泵送至霧化器。在負(fù)載線圈上方約10mm處，焊炬溫度約為8000K。
由ICP火炬、接口裝置和質(zhì)譜儀組成；如果工作條件良好，則必須設(shè)置每個(gè)部件的工作條件。
ICP產(chǎn)生的離子通過接口裝置進(jìn)入質(zhì)譜儀。接口裝置的主要參數(shù)是采樣深度，即采樣錐孔與火炬之間的距離。應(yīng)調(diào)整兩個(gè)錐形孔的距離和對(duì)齊方式。同時(shí)，應(yīng)調(diào)整透鏡電壓以使離子具有良好的聚焦。
事實(shí)上，在每次分析之前，有必要用多元標(biāo)準(zhǔn)溶液測(cè)試儀器的整體性能。如果儀器的靈敏度能夠達(dá)到預(yù)期水平，則不再需要調(diào)整儀器。
